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台阶仪与干涉仪的区别！ 已有7人参与
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现在想测二氧化钛膜厚，要经常测量，SEM太贵，制样麻烦，所以想找个方便又经济的方法，翻看了小木虫以前的贴子，发现台阶仪与干涉仪可测膜厚，但： 1、两者有啥区别？台阶仪好象也是利用光的干涉原理啊！ 2、还有制样是不是都要做台阶？ 3、另外价格，我的膜厚大约100－2000nm，用哪种便宜又能达到我的测量要求？ 4、还有一个问题：好象有一种干涉显微镜6JA也可以测膜厚，它与干涉仪又有何不同？ |
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xiangan315
至尊木虫 (文坛精英)
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lilihot: 金币+5 2014-12-26 15:35:32
感谢参与，应助指数 +1
lilihot: 金币+5 2014-12-26 15:35:32
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台阶仪式在薄膜厚度起伏处，利用一个针尖扫过的样品表面的针尖感受的差别反应的厚度信息，一般都是在用确定厚度的标准样校准后来测试未知样品厚度，厚度信息相对比较真实，且对材料本身的性质依赖度不高； 干涉仪类似的则是利用材料本身的光学性质来探测不同厚度的薄膜，说白了就是和薄膜材料的性质有关，不同工艺的材料会有差别；建立相关的薄膜模型，通过后期的拟合获得厚度信息。是一种不需破坏样品的无损测试厚度方法，厚度真实度依赖于经验和方法； 此外，如果要求更高或者发paper的话，AFM是一个最为客观的、也是大家公认的直观表征薄膜厚度的方法，同台阶仪一样，样品上也是需要有台阶；当然，楼主的样品厚度较大，一般台阶仪的精度完全胜任。 |
7楼2014-12-23 20:59:20
石银东
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2楼2014-12-23 15:00:09
3楼2014-12-23 15:28:41
石银东
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4楼2014-12-23 15:32:57
