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BOSS212

铜虫 (初入文坛)

[求助] SEM如何处理样品降低电子入射深度 已有1人参与

我的样品很薄50nm的样，如果用3kv做SEM，一下子电子就穿透了。
有没有办法在样品上加一层什么东西，能使得电子入射深度降低？
我收集的是背散射数据。
真心求教！
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1楼 2014-12-22 22:31:44
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电镜达人

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

不知道你的电镜什么型号，但是我做的话，背散射电子就1kv

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2楼2014-12-27 22:31:42
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BOSS212

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 电镜达人 at 2014-12-27 22:31:42
不知道你的电镜什么型号，但是我做的话，背散射电子就1kv

我的用不了那么低的电压，所以才要想其他办法降低入射电子的能量。
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3楼2014-12-29 09:58:22
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