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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】扫描电镜附带的EDX能谱测定得到的是表面含量还是体含量
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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vincent9277

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】扫描电镜附带的EDX能谱测定得到的是表面含量还是体含量 已有1人参与

请问一下SEM附带的EDX能谱仪测出来的元素含量百分比是表面含量呢，还是体含量呢？谢谢
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1楼 2009-10-23 15:08:55
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zeusshang

金虫 (小有名气)
★ ★
骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):谢谢参与 10-23 19:47
vincent9277(金币+1,VIP+0): 10-24 17:32
自然是表面的了，电子束的穿透能力很弱，只能激发表面附近的原子的电子。
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微纳加工
2楼2009-10-23 15:30:17
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普通回帖

mossback

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):谢谢参与 10-23 19:47
vincent9277(金币+3,VIP+0): 10-24 17:32
不对，其实电子书穿透能力还是很强的，可以上微米。所以，所得信息为表层1微米厚度的信息。
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3楼2009-10-23 18:33:35
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ligang8328685

木虫 (正式写手)
★
vincent9277(金币+1,VIP+0): 10-24 17:33
应该是体含量了吧
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4楼2009-10-23 19:44:04
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mossback

木虫 (小有名气)
★
vincent9277(金币+1,VIP+0): 10-24 17:33
ps:如果真的只想得到表层原子的信息，建议使用XPS，而且很准确。
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5楼2009-10-24 00:55:16
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usst

金虫 (小有名气)
★ ★
vincent9277(金币+2,VIP+0): 10-24 17:33
表面元素的含量，电子束的探测深度取决于电子的能量，一般是几十纳米吧
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6楼2009-10-24 07:58:36
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255255

木虫 (正式写手)
★
vincent9277(金币+1,VIP+0): 10-24 17:33
其实还应该考虑材料的松散程度，如果材料的空隙过大的话电子的入射深度就很深了
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7楼2009-10-24 13:18:07
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gywu0420

铁杆木虫 (知名作家)
★
vincent9277(金币+1,VIP+0): 10-24 17:33
应该得到的大部分是表面的信息
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8楼2009-10-24 13:31:50
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kcfreedom001

金虫 (著名写手)
应该得到的大部分是表面的信息
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9楼2009-10-24 14:51:32
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nanguarang

银虫 (小有名气)
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10楼2009-10-24 19:58:46
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