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【求助】扫描电镜附带的EDX能谱测定得到的是表面含量还是体含量
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vincent9277
铁虫
(小有名气)
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(幼儿园)
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在线: 31.8小时
虫号: 585213
注册: 2008-08-08
性别: GG
专业: 半导体材料
[交流]
【求助】扫描电镜附带的EDX能谱测定得到的是表面含量还是体含量
已有1人参与
请问一下SEM附带的EDX能谱仪测出来的元素含量百分比是表面含量呢,还是体含量呢?谢谢
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1楼
2009-10-23 15:08:55
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gywu0420
铁杆木虫
(知名作家)
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沙发: 2
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虫号: 669608
注册: 2008-12-07
性别: GG
专业: 无机非金属基复合材料
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vincent9277(金币
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):
10-24 17:33
应该得到的大部分是表面的信息
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8楼
2009-10-24 13:31:50
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zeusshang
金虫
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虫号: 809128
注册: 2009-07-14
专业: 集成电路制造与封装
★ ★
骑着蜗牛追火箭(金币
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):谢谢参与
10-23 19:47
vincent9277(金币
+1
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):
10-24 17:32
自然是表面的了,电子束的穿透能力很弱,只能激发表面附近的原子的电子。
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微纳加工
2楼
2009-10-23 15:30:17
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mossback
木虫
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虫号: 431763
注册: 2007-08-11
性别: GG
专业: 电化学
★ ★ ★ ★
骑着蜗牛追火箭(金币
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):谢谢参与
10-23 19:47
vincent9277(金币
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):
10-24 17:32
不对,其实电子书穿透能力还是很强的,可以上微米。所以,所得信息为表层1微米厚度的信息。
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3楼
2009-10-23 18:33:35
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ligang8328685
木虫
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虫号: 480533
注册: 2007-12-16
性别:
MM
专业: 冶金物理化学与冶金原理
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vincent9277(金币
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):
10-24 17:33
应该是体含量了吧
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4楼
2009-10-23 19:44:04
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