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咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控镀膜贴胶带边缘彩色条纹是怎么造成的??? 已有3人参与

靶材是AZO靶,磁控溅射镀膜,发现石英玻璃衬底上贴胶带边缘出现彩色条纹,应该是厚度不均匀引起的,之前镀的没有出现这现象,这两次出现了,我就奇怪了,请问大侠们怎么看?谢谢!
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jscadcam

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
厚度不均匀引起的光的衍射现象

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-12-14 19:33:16
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jscadcam at 2014-12-14 19:33:16
厚度不均匀引起的光的衍射现象

深入一些,请问厚度不均匀是怎么造成的?我石英衬底直径才30mm,中间正常,只有贴胶带的边缘有彩色条纹,而边缘其他地方也正常,有什么办法可以消除吗?是胶带的原因造成的吗?好像说不通
3楼2014-12-15 19:50:06
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lyjts123

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

就是膜厚不均造成的,我经常碰到这种事,胶带的厚度其实还是蛮厚的,你沉积薄膜的时候会形成阻挡,这个不用纠结!
4楼2015-01-16 15:14:30
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lyjts123 at 2015-01-16 15:14:30
就是膜厚不均造成的,我经常碰到这种事,胶带的厚度其实还是蛮厚的,你沉积薄膜的时候会形成阻挡,这个不用纠结!

弄清楚了,是因为胶带贴的不紧,有空隙,导致空隙内有膜生长,而且不均匀,还是谢谢您的指导。
5楼2015-01-16 20:42:46
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安子帅呆

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是旋转还是平面靶?
6楼2015-05-11 10:40:29
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