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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 磁控镀膜贴胶带边缘彩色条纹是怎么造成的？？？
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控镀膜贴胶带边缘彩色条纹是怎么造成的？？？ 已有3人参与

靶材是AZO靶，磁控溅射镀膜，发现石英玻璃衬底上贴胶带边缘出现彩色条纹，应该是厚度不均匀引起的，之前镀的没有出现这现象，这两次出现了，我就奇怪了，请问大侠们怎么看？谢谢！
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1楼 2014-12-14 12:09:31
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jscadcam

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
厚度不均匀引起的光的衍射现象

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-12-14 19:33:16
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咖啡路

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jscadcam at 2014-12-14 19:33:16
厚度不均匀引起的光的衍射现象

深入一些，请问厚度不均匀是怎么造成的？我石英衬底直径才30mm，中间正常，只有贴胶带的边缘有彩色条纹，而边缘其他地方也正常，有什么办法可以消除吗？是胶带的原因造成的吗？好像说不通
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3楼2014-12-15 19:50:06
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lyjts123

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

就是膜厚不均造成的，我经常碰到这种事，胶带的厚度其实还是蛮厚的，你沉积薄膜的时候会形成阻挡，这个不用纠结！
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4楼2015-01-16 15:14:30
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咖啡路

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lyjts123 at 2015-01-16 15:14:30
就是膜厚不均造成的，我经常碰到这种事，胶带的厚度其实还是蛮厚的，你沉积薄膜的时候会形成阻挡，这个不用纠结！

弄清楚了，是因为胶带贴的不紧，有空隙，导致空隙内有膜生长，而且不均匀，还是谢谢您的指导。
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5楼2015-01-16 20:42:46
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安子帅呆

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是旋转还是平面靶？
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6楼2015-05-11 10:40:29
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