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新虫 (正式写手)

[求助] 化学气相沉积 Al2O3

各位大神,我想做化学气相沉积Al2O3,文献中提到用AlCl3-H2-CO2的体系做,但是有一个问题,文献中只提到了气态AlCl3的浓度,我想知道怎么去控制他的浓度啊?
有没有人能告诉我温度和AlCl3的关系呢?如果想要AlCl3浓度为2% ,应该设置AlCL3的保温温度为多少呢?最好同时告诉我一下参考资料哪里有?跪谢、、、、
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