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新虫 (正式写手)

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专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 化学气相沉积 Al2O3

各位大神，我想做化学气相沉积Al2O3，文献中提到用AlCl3-H2-CO2的体系做，但是有一个问题，文献中只提到了气态AlCl3的浓度，我想知道怎么去控制他的浓度啊？
有没有人能告诉我温度和AlCl3的关系呢？如果想要AlCl3浓度为2% ，应该设置AlCL3的保温温度为多少呢？最好同时告诉我一下参考资料哪里有？跪谢、、、、

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1楼 2014-12-01 22:11:36

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智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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