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汕头大学海洋科学接受调剂
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sorceress

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】请教一个用SM观察涂层的截面的问题,谢谢!

TiN与Ti的复合涂层,一共19层,共厚不到2个μ,想在SEM下看到涂层的截面形貌即看到清晰的层壮结构。
可是样品制备很困难,主要是抛光很难,用0.2μ的金刚石抛光膏机械抛光也很难观察到。
请教大家应该如何制备样品?用什么样方法的抛光?抛光后用是否需要蚀刻,用什么方法蚀刻?
谢谢大家!

另外,为受地震灾害的同胞祈祷!
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桃李不言,下自成蹊
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重庆森林639

木虫 (正式写手)

★ ★
FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢交流
sorceress(金币+1,VIP+0):谢谢指教,我试一试
你用502胶粘到一个铁块之类的东西上将其抛光。用SEM背散射应该就能观察出层状结构吧?不妨试试。
2楼2008-05-17 15:26:12
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icwafer

金虫 (正式写手)

直接看,不用抛光
氧化物薄膜我就是这么观测的。
为人民币服务!
3楼2008-05-17 17:49:26
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