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sorceress木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】请教一个用SM观察涂层的截面的问题，谢谢！
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TiN与Ti的复合涂层，一共19层，共厚不到2个μ，想在SEM下看到涂层的截面形貌即看到清晰的层壮结构。 可是样品制备很困难，主要是抛光很难，用0.2μ的金刚石抛光膏机械抛光也很难观察到。 请教大家应该如何制备样品？用什么样方法的抛光？抛光后用是否需要蚀刻，用什么方法蚀刻？ 谢谢大家！ 另外，为受地震灾害的同胞祈祷！ |
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icwafer
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3楼2008-05-17 17:49:26