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sorceress木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】请教一个用SM观察涂层的截面的问题,谢谢!
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TiN与Ti的复合涂层,一共19层,共厚不到2个μ,想在SEM下看到涂层的截面形貌即看到清晰的层壮结构。 可是样品制备很困难,主要是抛光很难,用0.2μ的金刚石抛光膏机械抛光也很难观察到。 请教大家应该如何制备样品?用什么样方法的抛光?抛光后用是否需要蚀刻,用什么方法蚀刻? 谢谢大家! 另外,为受地震灾害的同胞祈祷! |
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icwafer
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3楼2008-05-17 17:49:26
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