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loverjyy

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射相关问题

在做三靶磁控溅射的时候,其中一个靶不断闪烁,请教各位大侠有知道是什么原因的吗???这个问题该怎么解决》????????谢谢!!!

[ Last edited by SHY31 on 2008-5-16 at 13:11 ]
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答啊
可能是打火,原因可能是靶材导电性不好

靶的材料是什么?什么工作气体?电源是什么样的?
2楼2008-05-16 11:55:17
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loverjyy

木虫 (小有名气)


remeo2088(金币+1,VIP+0):谢谢回答
钴靶 氩气 直流电源
请问能详细的解释一下什么是打火吗?还有这个问题该怎么解决?
以前做试验的时候也会出现这样的现象,但是有的时候不怎么出。
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2008-5-16 11:55:
可能是打火,原因可能是靶材导电性不好

靶的材料是什么?什么工作气体?电源是什么样的?

3楼2008-05-16 12:06:19
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xujingjun

木虫 (小有名气)

可能是表面不是很干净,有氧化物
4楼2008-05-16 13:49:42
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★ ★
remeo2088(金币+3,VIP+0):谢谢回答
打火就是由于靶材导电性不佳导致电荷积累而产生的局域放电。
很多原因可以导致打火:靶表面脏(建议先小功率溅射等到电流电压稳定后提高功率)、真空气氛不好(导致实际上发生的是反应溅射,实用直流电源肯定容易打火,建议检查真空室的保压能力)、靶材质量不好(成分不均匀、有夹杂物或有裂纹等)、电源有问题等

如有中频电源或者交流电源(需要一对靶)可以试下,一般可以减少打火。

PS:打火原因很多,有些可能没有提到。
5楼2008-05-16 16:05:31
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loverjyy

木虫 (小有名气)

多谢指教,这样看来,可能是电压的问题,我们实验室那个楼里的大功率设备挺多的,而且中午的时候好像有个实验室在装修,接了功率很大的电钻,不过,我们的钴靶用的时间有点长,有些地方很薄了,可能很不均匀了,多谢指教,学到了很多东西!!!谢谢!!!!!!
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2008-5-16 16:05:
打火就是由于靶材导电性不佳导致电荷积累而产生的局域放电。
很多原因可以导致打火:靶表面脏(建议先小功率溅射等到电流电压稳定后提高功率)、真空气氛不好(导致实际上发生的是反应溅射,实用直流电源肯定容易 ...

6楼2008-05-16 21:28:24
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granular

木虫 (著名写手)

也可能是靶的磁钢退磁了,因为作磁性材料需要强磁靶。靶里边的磁钢退磁后就起不了辉了。我们大概一年的换一次,有时几个月换一次。
7楼2008-05-17 09:15:49
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