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loverjyy

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射相关问题

在做三靶磁控溅射的时候,其中一个靶不断闪烁,请教各位大侠有知道是什么原因的吗???这个问题该怎么解决》????????谢谢!!!

[ Last edited by SHY31 on 2008-5-16 at 13:11 ]
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granular

木虫 (著名写手)

也可能是靶的磁钢退磁了,因为作磁性材料需要强磁靶。靶里边的磁钢退磁后就起不了辉了。我们大概一年的换一次,有时几个月换一次。
7楼2008-05-17 09:15:49
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答啊
可能是打火,原因可能是靶材导电性不好

靶的材料是什么?什么工作气体?电源是什么样的?
2楼2008-05-16 11:55:17
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loverjyy

木虫 (小有名气)


remeo2088(金币+1,VIP+0):谢谢回答
钴靶 氩气 直流电源
请问能详细的解释一下什么是打火吗?还有这个问题该怎么解决?
以前做试验的时候也会出现这样的现象,但是有的时候不怎么出。
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2008-5-16 11:55:
可能是打火,原因可能是靶材导电性不好

靶的材料是什么?什么工作气体?电源是什么样的?

3楼2008-05-16 12:06:19
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xujingjun

木虫 (小有名气)

可能是表面不是很干净,有氧化物
4楼2008-05-16 13:49:42
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