24小时热门版块排行榜

返回列表

当前主题已经存档。

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

loverjyy

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 4208.5
帖子: 146
在线: 85.4小时
虫号: 549097
注册: 2008-04-20

[交流] 【求助】磁控溅射相关问题

在做三靶磁控溅射的时候，其中一个靶不断闪烁，请教各位大侠有知道是什么原因的吗？？？这个问题该怎么解决》？？？？？？？？谢谢！！！

[ Last edited by SHY31 on 2008-5-16 at 13:11 ]

回复此楼

» 猜你喜欢

拟解决的关键科学问题还要不要写已经有8人回复
26申博已经有3人回复
存款400万可以在学校里躺平吗已经有22人回复
最失望的一年已经有4人回复
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？已经有19人回复
请教限项目规定已经有3人回复
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？已经有10人回复
基金申报已经有6人回复
推荐一本书已经有13人回复
疑惑？已经有5人回复

1楼 2008-05-16 11:36:36

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

loverjyy

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 4208.5
帖子: 146
在线: 85.4小时
虫号: 549097
注册: 2008-04-20

多谢指教，这样看来，可能是电压的问题，我们实验室那个楼里的大功率设备挺多的，而且中午的时候好像有个实验室在装修，接了功率很大的电钻，不过，我们的钴靶用的时间有点长，有些地方很薄了，可能很不均匀了，多谢指教，学到了很多东西！！！谢谢！！！！！！

引用回帖:

Originally posted by Tavano at 2008-5-16 16:05:
打火就是由于靶材导电性不佳导致电荷积累而产生的局域放电。
很多原因可以导致打火：靶表面脏（建议先小功率溅射等到电流电压稳定后提高功率）、真空气氛不好（导致实际上发生的是反应溅射，实用直流电源肯定容易 ...