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xsz2013

铜虫 (小有名气)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 97.1
红花: 3
帖子: 153
在线: 172.7小时
虫号: 2473336
注册: 2013-05-20
性别: GG
专业: 凝聚态物性I:结构、力学和

[求助] 薄膜沉积过程为什么是个急冷过程已有1人参与

看到教科书中有这样一段描述：

“薄膜沉积伴随着从气相到固相的急冷过程”，这句话不理解，从气相到固相不是凝华吗，凝华不是放热吗，怎么是个急冷过程？

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1楼 2014-11-24 18:25:46

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

应助: 20282 (院士)
金币: 145965
红花: 1374
帖子: 93091
在线: 7694.3小时
虫号: 1482829
注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷

从气相到固相是凝华吗，凝华是放热,但放热是薄膜对环境放热，自己本身是不断失去能量的，整个过程处于急速失能的降温的过程，并且因为其厚度很薄，热容量小，在受到环境的强烈吸热作用后降温速度极快。因此薄膜沉积过程是个急冷过程。

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3楼2014-11-26 06:08:11

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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

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注册: 2014-03-02
性别: GG
专业: 半导体光电子器件

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

不知道你说的是CVD还是PECVD啊

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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。

2楼2014-11-25 19:08:48

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xsz2013

[求助] 薄膜沉积过程为什么是个急冷过程 已有1人参与

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peterflyer

yuanxin5254

【答案】应助回帖

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