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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜沉积过程为什么是个急冷过程
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄膜沉积过程为什么是个急冷过程 已有1人参与

看到教科书中有这样一段描述：

“薄膜沉积伴随着从气相到固相的急冷过程”，这句话不理解，从气相到固相不是凝华吗，凝华不是放热吗，怎么是个急冷过程？
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1楼 2014-11-24 18:25:46
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知道你说的是CVD还是PECVD啊
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
2楼2014-11-25 19:08:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
从气相到固相是凝华吗，凝华是放热,但放热是薄膜对环境放热，自己本身是不断失去能量的，整个过程处于急速失能的降温的过程，并且因为其厚度很薄，热容量小，在受到环境的强烈吸热作用后降温速度极快。因此薄膜沉积过程是个急冷过程 。
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3楼2014-11-26 06:08:11
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