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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄膜沉积过程为什么是个急冷过程 已有1人参与

看到教科书中有这样一段描述:

“薄膜沉积伴随着从气相到固相的急冷过程”,这句话不理解,从气相到固相不是凝华吗,凝华不是放热吗,怎么是个急冷过程?
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不知道你说的是CVD还是PECVD啊
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
2楼2014-11-25 19:08:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


从气相到固相是凝华吗,凝华是放热,但放热是薄膜对环境放热,自己本身是不断失去能量的,整个过程处于急速失能的降温的过程,并且因为其厚度很薄,热容量小,在受到环境的强烈吸热作用后降温速度极快。因此薄膜沉积过程是个急冷过程 。
3楼2014-11-26 06:08:11
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