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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 有人知道铌酸锂氢氟酸刻蚀的相关数据吗?

查了一些文献,有60摄氏度和90摄氏度的,室温的数据比较少。
用氢氟酸,氢氟酸和水,氢氟酸和硝酸,缓冲氢氟酸刻蚀的都行。
我用缓冲氢氟酸刻蚀了两个小时不见动静啊。。。
以前用氢氟酸比水=2:1,刻过10个小时,大概刻蚀了有一两个微米。
有人做过相关实验,有相关数据的吗?
谢谢。
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