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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 有人知道铌酸锂氢氟酸刻蚀的相关数据吗？
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 有人知道铌酸锂氢氟酸刻蚀的相关数据吗？

查了一些文献，有60摄氏度和90摄氏度的，室温的数据比较少。
用氢氟酸，氢氟酸和水，氢氟酸和硝酸，缓冲氢氟酸刻蚀的都行。
我用缓冲氢氟酸刻蚀了两个小时不见动静啊。。。
以前用氢氟酸比水=2：1，刻过10个小时，大概刻蚀了有一两个微米。
有人做过相关实验，有相关数据的吗？
谢谢。
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Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-11-17 13:36:18
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