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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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[求助]
有人知道铌酸锂氢氟酸刻蚀的相关数据吗？
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查了一些文献，有60摄氏度和90摄氏度的，室温的数据比较少。 用氢氟酸，氢氟酸和水，氢氟酸和硝酸，缓冲氢氟酸刻蚀的都行。 我用缓冲氢氟酸刻蚀了两个小时不见动静啊。。。 以前用氢氟酸比水=2：1，刻过10个小时，大概刻蚀了有一两个微米。 有人做过相关实验，有相关数据的吗？ 谢谢。 |
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