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碳纳米管的生长问题
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huangjiabin
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性别: GG
专业: 半导体材料
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碳纳米管的生长问题
敢问各位大神,我想在石墨烯上用cvd长碳管,准备用热蒸发镀几个纳米厚的镍,甲烷做碳源,请问用什么样的工艺参数可以长出比较好的碳管啊?比如温度,反应时间,碳源和载气流量等。。。CVD设备是合肥科晶OTF-1200X,石英管是2-inch的。
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