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weimeng0090

铁虫 (初入文坛)

[求助] 陶瓷化学机械抛光后,晶粒晶界模糊看不清,求解决方案看清晶界晶粒 已有3人参与

陶瓷化学机械抛光后(起伏度50纳米以内),晶粒晶界模糊看不清,求解决方案看清晶界晶粒(务必要保持起伏度不超过50纳米)。现在抛光可以达到要求,就是晶粒晶界看怎么处理一下能够看清,那种泾渭分明的赶脚。谢谢啦。欢迎牛人进来讨论。金币不多,见谅!
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liugwtiger

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热腐蚀。
正常速度加热到低于烧结温度150~200度,保温半小时,冷却。
如果晶粒明显长大,可以自己酌情降温减时间。
2楼2014-11-14 14:52:30
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Jason

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
哥们儿的起伏度做到50nm 是指平整度 还是表面粗糙度啊
不同材料的腐蚀采取不同工艺
Jason
3楼2014-11-14 15:04:30
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kunlunwater

银虫 (小有名气)

抛光后就是看不到晶界了啊!看晶界要做抛光前看。抛光有不好造成晶粒生长。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-12-26 19:34:45
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chinaworm

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

在低于50-100烧结温度下退火即可

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
Tomorrow is tomorrow
5楼2014-12-28 08:31:19
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