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陶瓷化学机械抛光后,晶粒晶界模糊看不清,求解决方案看清晶界晶粒
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weimeng0090
铁虫
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专业: 半导体材料
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求助
]
陶瓷化学机械抛光后,晶粒晶界模糊看不清,求解决方案看清晶界晶粒
已有3人参与
陶瓷化学机械抛光后(起伏度50纳米以内),晶粒晶界模糊看不清,求解决方案看清晶界晶粒(务必要保持起伏度不超过50纳米)。现在抛光可以达到要求,就是晶粒晶界看怎么处理一下能够看清,那种泾渭分明的赶脚。谢谢啦。欢迎牛人进来讨论。金币不多,见谅!
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1楼
2014-11-14 13:24:06
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liugwtiger
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热腐蚀。
正常速度加热到低于烧结温度150~200度,保温半小时,冷却。
如果晶粒明显长大,可以自己酌情降温减时间。
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2楼
2014-11-14 14:52:30
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Jason
木虫
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专业: 结构陶瓷
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哥们儿的起伏度做到50nm 是指平整度 还是表面粗糙度啊
不同材料的腐蚀采取不同工艺
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Jason
3楼
2014-11-14 15:04:30
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kunlunwater
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专业: 中、西方天文学史
抛光后就是看不到晶界了啊!看晶界要做抛光前看。抛光有不好造成晶粒生长。
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4楼
2014-12-26 19:34:45
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chinaworm
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在低于50-100烧结温度下退火即可
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Tomorrow is tomorrow
5楼
2014-12-28 08:31:19
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