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如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整
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静忆hh
铜虫
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如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整
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如何将磁控溅射镀的膜与玻璃或者si基底分离呢,不求完整
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yswyx
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1楼
2014-11-10 14:44:30
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dwysd
木虫
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注册: 2008-04-03
专业: 半导体材料
薄膜长得厚点,内应力会导致薄膜自然脱落。
发自小木虫Android客户端
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13楼
2016-01-13 13:05:38
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lee0803
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2014-11-13 14:13:24
可以用腐蚀液腐蚀,用lift-off工艺也可以,这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来?这个貌似很难实现的吧?
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2楼
2014-11-11 18:42:50
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静忆hh
铜虫
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专业: 功能陶瓷
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2楼
:
Originally posted by
lee0803
at 2014-11-11 18:42:50
可以用腐蚀液腐蚀,用lift-off工艺也可以,这样一般在衬底上作出图形的。
你是想要单独把膜剥离出来?这个貌似很难实现的吧?
对啊,只要膜。试过用酸,膜会分离下来。放时间长了就全溶解了。
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3楼
2014-11-11 22:01:50
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cord
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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★ ★ ★ ★ ★
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很有帮助
2014-11-13 14:13:33
前几年有一篇斯坦福大学的文章说用Ni膜就可以分离薄膜从硅片上,我回头找找。
具体你要分离的是什么膜?
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4楼
2014-11-12 00:26:42
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