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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜孔径(大概2nm)用什么方式测最好? 已有2人参与

我在玻璃上长了一层100nm左右厚度的介孔硅薄膜,孔径大概2nm左右。用什么办法能表征孔大小?

最好的话,能得到孔径分布图。非常感谢
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glorylin

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-27 12:28:47
用AFM可以做,而且还可以测薄膜厚度

AFM测2nm还是有点难度吧。而且测出来的孔径是局部的。有没有什么宏观的方法能测孔径,比如BET之类的。直接能给出孔径数值的。最好能给出孔径分布图。
6楼2014-10-27 16:37:17
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glorylin

金虫 (小有名气)

求助啊,没人懂吗
2楼2014-10-27 09:09:17
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hubuyy

金虫 (小有名气)

TEM应该可以

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-10-27 12:19:37
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用AFM可以做,而且还可以测薄膜厚度
4楼2014-10-27 12:28:47
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