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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 薄膜孔径（大概2nm）用什么方式测最好？
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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜孔径（大概2nm）用什么方式测最好？ 已有2人参与

我在玻璃上长了一层100nm左右厚度的介孔硅薄膜，孔径大概2nm左右。用什么办法能表征孔大小？

最好的话，能得到孔径分布图。非常感谢
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1楼 2014-10-25 17:11:56
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glorylin

金虫 (小有名气)
求助啊，没人懂吗
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2楼2014-10-27 09:09:17
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hubuyy

金虫 (小有名气)
TEM应该可以

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-10-27 12:19:37
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用AFM可以做，而且还可以测薄膜厚度
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4楼2014-10-27 12:28:47
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glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hubuyy at 2014-10-27 12:19:37
TEM应该可以

TEM图是有了，但是孔径用图上量感觉非常粗糙，而且是局部的。有没有什么宏观的方法能测孔径，比如BET之类的。直接能给出孔径数值的。
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5楼2014-10-27 16:36:17
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glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-27 12:28:47
用AFM可以做，而且还可以测薄膜厚度

AFM测2nm还是有点难度吧。而且测出来的孔径是局部的。有没有什么宏观的方法能测孔径，比如BET之类的。直接能给出孔径数值的。最好能给出孔径分布图。
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6楼2014-10-27 16:37:17
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by glorylin at 2014-10-27 16:37:17
AFM测2nm还是有点难度吧。而且测出来的孔径是局部的。有没有什么宏观的方法能测孔径，比如BET之类的。直接能给出孔径数值的。最好能给出孔径分布图。...

这对AFM应该没什么难度吧。BET当然也可以了
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7楼2014-10-27 20:17:43
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ACLEYY

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
BET测试 我课题组就是的 有孔径分析仪
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8楼2014-10-27 22:35:41
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glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by ACLEYY at 2014-10-27 22:35:41
BET测试 我课题组就是的 有孔径分析仪

你们测BET是粉末样品吗？
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9楼2014-10-28 12:52:04
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
我目前正需要制作微孔的薄膜，遇到很大瓶颈，你这是什么物质，怎么生长的这样的多孔薄膜？希望告知，能提供我一些思路

十分感谢！！！
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10楼2014-11-14 21:12:27
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