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PMMA 匀胶厚度 400nm已有4人参与
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大家好！小弟最近在用匀胶方法在Si上做PMMA薄膜，3000rpm/s， 30s得到的是80nm厚的膜，2000rpm/s得到110nm厚的膜，想再尝试1000rpm/s，不知道结果会怎样，即使得到400nm厚膜，粗糙度会不会很糟糕。大家有做过吗，望多交流指点，谢谢！ |
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