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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » PMMA 匀胶厚度 400nm
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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] PMMA 匀胶厚度 400nm 已有4人参与

大家好！小弟最近在用匀胶方法在Si上做PMMA薄膜，3000rpm/s， 30s得到的是80nm厚的膜，2000rpm/s得到110nm厚的膜，想再尝试1000rpm/s，不知道结果会怎样，即使得到400nm厚膜，粗糙度会不会很糟糕。大家有做过吗，望多交流指点，谢谢！
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1楼 2014-10-24 07:57:15
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这要看你对粗糙度有什么样的要求。
一般到1000转这种转速，胶的厚度均匀性会不好，厚胶边会变很厚，但大部分平面内还是比较平坦的，厚度变化很小。
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13楼2014-10-24 19:17:27
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axing872880

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刚好我有一点经验，如果要做pmma 薄膜，一般都用A4 溶液。根据不同的转速要求，可以得到不同的厚度，但是实际上，厚度跟溶液的浓度，施加的量有关。如果实验室没有现成的厚度曲线，建议自己把三个参数全部做一下，做出曲线来，以后也好控制。
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微纳加工软硬方法，表面磁学，磁光，磁存储
17楼2014-10-26 08:32:14
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普通回帖

cxjzly2008

木虫之王 (文学泰斗)
★
木星人士(金币+1): 谢谢参与
帮顶
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找不到问题就是问题；找到了问题，找不到解决方法，就是问题；找到了问题，也找到了解决方法，不去解决，就是问题
2楼2014-10-24 07:58:34
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dmbb
★
木星人士(金币+1): 谢谢参与
3楼2014-10-24 08:28:17
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假大空
★
木星人士(金币+1): 谢谢参与
4楼2014-10-24 08:29:31
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851721662
★
木星人士(金币+1): 谢谢参与
5楼2014-10-24 08:31:19
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longjl
6楼2014-10-24 08:40:22
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三余无梦生
7楼2014-10-24 08:49:57
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小木鸭
8楼2014-10-24 08:56:32
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GraceDamien
9楼2014-10-24 09:03:00
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大虫1992
10楼2014-10-24 09:03:50
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