| 查看: 2571 | 回复: 16 | ||
[交流]
TiO2致密层旋涂工艺的探索 已有8人参与
|
|
网上并没有发现讲述spin-coating technique的文献，在此讨论下旋涂工艺的设置以及初期工艺的探索？ 旋涂液为titanium diisopropoxide bis(acetylacetonate) in 1-butanol， 退火工艺为500℃，旋涂膜厚为100nm以下，目前转速设置为1000rpm for 10s→3000rpm for 30s，FTO尺寸为2*1.5cm，旋涂出来的膜质量总是不高，可采取工艺为滴旋或旋滴，大家有什么看法呢？？ |
回复此楼
2楼2014-10-13 21:14:54
3楼2014-10-13 23:11:20
4楼2014-10-14 12:08:41
5楼2014-10-14 12:20:42
6楼2014-11-10 01:35:37
7楼2014-11-10 07:33:58
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
8楼2014-11-10 08:22:22
9楼2014-11-10 09:25:40
李晓莉635
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 417.5
- 散金: 5
- 帖子: 42
- 在线: 19.6小时
- 虫号: 1722329
- 注册: 2012-03-28
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2014-11-12 16:43:22
