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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » TiO2致密层旋涂工艺的探索
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lemingh

新虫 (小有名气)

[交流] TiO2致密层旋涂工艺的探索 已有8人参与

网上并没有发现讲述spin-coating technique的文献，在此讨论下旋涂工艺的设置以及初期工艺的探索？
旋涂液为titanium diisopropoxide bis(acetylacetonate) in 1-butanol， 退火工艺为500℃，旋涂膜厚为100nm以下，目前转速设置为1000rpm for 10s→3000rpm for 30s，FTO尺寸为2*1.5cm，旋涂出来的膜质量总是不高，可采取工艺为滴旋或旋滴，大家有什么看法呢？？
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1楼 2014-10-10 17:17:57
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aime0123

金虫 (小有名气)
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引用回帖:
5楼: Originally posted by lemingh at 2014-10-14 12:20:42
其实我觉得很有可能是溶液配制过程出了问题，你有用过这种precursor吗
...

你解决这个问题了吗？我做也是这种情况
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6楼2014-11-10 01:35:37
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NanoDog_

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
质量不高是指有针孔覆盖度不好？基底的清洁度对膜的质量有较大的影响，或者你也可以考虑水浴法做致密层。
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2楼2014-10-13 21:14:54
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lemingh

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by NanoDog_ at 2014-10-13 21:14:54
质量不高是指有针孔覆盖度不好？基底的清洁度对膜的质量有较大的影响，或者你也可以考虑水浴法做致密层。

指旋涂后的膜是彩色的，没有均匀透明的感觉

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-10-13 23:11:20
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NanoDog_

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by lemingh at 2014-10-13 23:11:20
指旋涂后的膜是彩色的，没有均匀透明的感觉
...

建议电镜观察对比一下。肉眼观察不透明肯定就是厚了，厚度与浓度和转速直接相关
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4楼2014-10-14 12:08:41
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