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lemingh

新虫 (小有名气)

[交流] TiO2致密层旋涂工艺的探索 已有8人参与

网上并没有发现讲述spin-coating technique的文献,在此讨论下旋涂工艺的设置以及初期工艺的探索?
旋涂液为titanium diisopropoxide bis(acetylacetonate) in 1-butanol, 退火工艺为500℃,旋涂膜厚为100nm以下,目前转速设置为1000rpm for 10s→3000rpm for 30s,FTO尺寸为2*1.5cm,旋涂出来的膜质量总是不高,可采取工艺为滴旋或旋滴,大家有什么看法呢??
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lemingh

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by NanoDog_ at 2014-10-14 12:08:41
建议电镜观察对比一下。肉眼观察不透明肯定就是厚了,厚度与浓度和转速直接相关...

其实我觉得很有可能是溶液配制过程出了问题,你有用过这种precursor吗

[ 发自小木虫客户端 ]
5楼2014-10-14 12:20:42
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NanoDog_

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
质量不高是指有针孔覆盖度不好?基底的清洁度对膜的质量有较大的影响,或者你也可以考虑水浴法做致密层。
2楼2014-10-13 21:14:54
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lemingh

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by NanoDog_ at 2014-10-13 21:14:54
质量不高是指有针孔覆盖度不好?基底的清洁度对膜的质量有较大的影响,或者你也可以考虑水浴法做致密层。

指旋涂后的膜是彩色的,没有均匀透明的感觉

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-10-13 23:11:20
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NanoDog_

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by lemingh at 2014-10-13 23:11:20
指旋涂后的膜是彩色的,没有均匀透明的感觉
...

建议电镜观察对比一下。肉眼观察不透明肯定就是厚了,厚度与浓度和转速直接相关
4楼2014-10-14 12:08:41
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