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TiO2致密层旋涂工艺的探索 已有8人参与
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网上并没有发现讲述spin-coating technique的文献,在此讨论下旋涂工艺的设置以及初期工艺的探索? 旋涂液为titanium diisopropoxide bis(acetylacetonate) in 1-butanol, 退火工艺为500℃,旋涂膜厚为100nm以下,目前转速设置为1000rpm for 10s→3000rpm for 30s,FTO尺寸为2*1.5cm,旋涂出来的膜质量总是不高,可采取工艺为滴旋或旋滴,大家有什么看法呢?? |
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