| 查看: 2114 | 回复: 2 | ||
[求助]
求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？ 已有2人参与
|
|
RIE参数：功率、气体种类、气体流量、压强、时间。 对于硅的干法刻蚀，以上几个RIE参数，大家都用的多少呢？你们一般用这样的参数刻多深？ 我现在用的功率是70W，气氛用的SF6，压强25Pa（压强会不会太大了），流量是10sccm，时间大概10min，刻蚀现在还没有多大进展？求教！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
乙烯焦油进行馏程切割做针状焦
已经有3人回复
-
作废
已经有36人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有160人回复
-
ecoflex 0030的分子式
已经有0人回复
-
南京工业大学古铮荣教授（国家级高层次人才）团队招聘博士后和青年教师
已经有0人回复
-
南京工业大学古铮荣教授（国家级高层次人才）团队招聘博士后和青年教师
已经有0人回复
-
南京工业大学古铮荣教授（国家级高层次人才）团队招聘博士后和青年教师
已经有1人回复
-
邀您投稿 Polymers 特刊
已经有28人回复
-
南京林业大学特聘教授团队招聘博后和2026博士研究生
已经有29人回复
-
26申博自荐-电磁屏蔽材料方向
已经有26人回复
-
请问那家有能成型厚度1.0~2.0mm，长宽>200mm的方块注塑模具
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教RIE刻蚀PS球的工艺参数
已经有6人回复
2楼2014-10-29 16:56:22
通天教主
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 435.8
- 帖子: 100
- 在线: 18.6小时
- 虫号: 3729606
- 注册: 2015-03-08
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2015-03-11 22:15:47