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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？
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1157322510

金虫 (初入文坛)

[求助] 求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？ 已有2人参与

RIE参数：功率、气体种类、气体流量、压强、时间。
对于硅的干法刻蚀，以上几个RIE参数，大家都用的多少呢？你们一般用这样的参数刻多深？
我现在用的功率是70W，气氛用的SF6，压强25Pa（压强会不会太大了），流量是10sccm，时间大概10min，刻蚀现在还没有多大进展？求教！！！
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1楼 2014-10-09 21:54:41
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甘道夫v5

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
1157322510: 金币+15, ★★★很有帮助 2015-01-09 23:09:38
不一样厂家生产的的仪器，其参数也不一样，所以直接问参数没有意义。建议多试试，还有，刻蚀适当的加一些氩气，有助于刻出垂直的壁槽。
赞一下 回复此楼
愿你已放下，常驻光明中
2楼2014-10-29 16:56:22
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通天教主

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
1157322510: 金币+10, ★有帮助 2015-05-18 18:17:41
将流量增加到80，建议有氧气10，功率增大到两百瓦，气压降到20帕，如果不行的话，就用流量20，气压15，功率两百，这个条件，再不行，你联系我
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2015-03-11 22:15:47
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