| 查看: 2151 | 回复: 2 | ||
[求助]
求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？ 已有2人参与
|
|
RIE参数：功率、气体种类、气体流量、压强、时间。 对于硅的干法刻蚀，以上几个RIE参数，大家都用的多少呢？你们一般用这样的参数刻多深？ 我现在用的功率是70W，气氛用的SF6，压强25Pa（压强会不会太大了），流量是10sccm，时间大概10min，刻蚀现在还没有多大进展？求教！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
MDPI [Buildings, Geosciences, Heritage, Minerals, Sustainability] 专题征稿
已经有6人回复
-
MDPI [Applied Sciences, Land, Remote Sensing, Sensors] 专题征稿
已经有1人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有270人回复
-
26申博-西工大材料专业-电化学方向-情况有点特殊
已经有6人回复
-
AI赋能复合材料力学：机器学习、PINN与多尺度仿真实战
已经有1人回复
-
MDPI 多期刊联合专题征稿
已经有1人回复
-
MDPI 多期刊联合专题征稿—AI 材料
已经有0人回复
-
AI+ CFD！20 个实战案例拆解 fluent、pinn 与智能流体应用
已经有0人回复
-
为什么复合材料+机器学习那么好发文章？
已经有0人回复
-
纳米颗粒分散度差，容易团聚怎么办
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教RIE刻蚀PS球的工艺参数
已经有6人回复
2楼2014-10-29 16:56:22
通天教主
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 435.8
- 帖子: 100
- 在线: 18.6小时
- 虫号: 3729606
- 注册: 2015-03-08
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2015-03-11 22:15:47