| 查看: 2164 | 回复: 2 | |||
[求助]
求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？ 已有2人参与
|
|
RIE参数：功率、气体种类、气体流量、压强、时间。 对于硅的干法刻蚀，以上几个RIE参数，大家都用的多少呢？你们一般用这样的参数刻多深？ 我现在用的功率是70W，气氛用的SF6，压强25Pa（压强会不会太大了），流量是10sccm，时间大概10min，刻蚀现在还没有多大进展？求教！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
材料调剂
已经有9人回复
-
有没有友友懂埃洛石复合聚合物电解质呀
已经有1人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有235人回复
-
【公益诊断】11年化学放大老兵，免费帮你看一个间歇式反应器的工艺放大难题。
已经有34人回复
-
新加坡南洋理工大学NTU诚招电池相关方向博后
已经有25人回复
-
800摄氏度下薄膜电导率测量
已经有2人回复
-
九水硝酸铁作为碳前驱体石墨化催化剂的制备求助
已经有0人回复
-
碳材料在水中无法分散，如何在不改性的情况下使其在水中均匀分散
已经有2人回复
-
Tunnelling and Underground Space Technology(TUST)
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教RIE刻蚀PS球的工艺参数
已经有6人回复
2楼2014-10-29 16:56:22
通天教主
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 435.8
- 帖子: 100
- 在线: 18.6小时
- 虫号: 3729606
- 注册: 2015-03-08
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2015-03-11 22:15:47
投票:
