| 查看: 2163 | 回复: 2 | ||
[求助]
求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？ 已有2人参与
|
|
RIE参数：功率、气体种类、气体流量、压强、时间。 对于硅的干法刻蚀，以上几个RIE参数，大家都用的多少呢？你们一般用这样的参数刻多深？ 我现在用的功率是70W，气氛用的SF6，压强25Pa（压强会不会太大了），流量是10sccm，时间大概10min，刻蚀现在还没有多大进展？求教！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
面上成果交流
已经有54人回复
-
华南农业大学-王清文教授-课题组招收2027级博士-生物质复合材料
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有123人回复
-
Data征稿（EI检索收录），选题方向：环境风险管理的数据分析
已经有104人回复
-
广东地区寻找 高温氢气烧结炉
已经有4人回复
-
广东地区寻找 高温氢气烧结炉
已经有1人回复
-
广东地区 寻找 高温氢气烧结炉
已经有1人回复
-
分享外企Sabic与科思创关于PC改性研究方向的报告
已经有0人回复
-
酚醛基硬碳的预固化相关问题求助
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教RIE刻蚀PS球的工艺参数
已经有6人回复
2楼2014-10-29 16:56:22
通天教主
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 435.8
- 帖子: 100
- 在线: 18.6小时
- 虫号: 3729606
- 注册: 2015-03-08
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2015-03-11 22:15:47
