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求助：做过硅刻蚀的小伙伴们，RIE参数你们一般确定的多少？ 已有2人参与
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RIE参数：功率、气体种类、气体流量、压强、时间。 对于硅的干法刻蚀，以上几个RIE参数，大家都用的多少呢？你们一般用这样的参数刻多深？ 我现在用的功率是70W，气氛用的SF6，压强25Pa（压强会不会太大了），流量是10sccm，时间大概10min，刻蚀现在还没有多大进展？求教！！！ |
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2楼2014-10-29 16:56:22
通天教主
银虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
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- 帖子: 100
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3楼2015-03-11 22:15:47