| 查看: 1062 | 回复: 3 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
FLYFWY木虫 (小有名气)
|
[求助]
请教如何将纳米多层膜从基底上脱离 已有1人参与
|
|||
|
最近研究纳米多层膜，需要将溅射得到的金属多层膜（几个μ）从SiC基底上脱离，粘到另一个模具上。 目的是利用膜与SiC基底接触的那一面（即下表面）的低粗糙度。 遇到一个问题：用环氧胶将膜上表面与模具粘在一起，然后扯开，使膜脱离 SiC基底，最后得到的膜的面型很不好，估计和胶不均匀以及脱膜过程有关。 请问有没有好的方法脱膜？ 谢谢大家！O(∩_∩)O~ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有109人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 用什么方法把纳米金属薄膜从PI基体上脱离
已经有3人回复
- 【请教】表面氨基的碳点如何能修饰上巯基
已经有5人回复
- 用云母片做基底做AFM，如何区分片状样品和云母碎片？
已经有5人回复
- 怎么使得疏水性基底变得亲水？
已经有9人回复
- 如何测量基底上薄膜的透射谱和吸收谱？
已经有4人回复
- 如何给玻璃片基底的做亲水性性处理？
已经有10人回复
- 在铜基底上电镀纳米镍磷非晶后该如何分离基底和薄膜
已经有3人回复
- 相分离经典著作——多相聚合物基材料：纳米和微米尺度下相结构图册（英文版）
已经有476人回复
- 请问怎么去除基底上的银纳米颗粒
已经有7人回复
- 用扫描电镜看薄膜截面时的基底影响问题求助
已经有8人回复
- 石墨烯分散液如何转移到玻璃基底上
已经有12人回复
- 在基底上生长TiO2纳米管
已经有7人回复
- 表面增强拉曼光谱的纳米基底制备 方法及仪器
已经有10人回复
- 什么样的纳米棒可以形成阵列，跟基底关系大吗？
已经有3人回复
- 如何将AAO模板固定在导电基底上
已经有7人回复
- 【请教】胶体纳米粒子的在氨基表面的静电吸附问题
已经有22人回复
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
3楼2014-09-23 09:54:17
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
整面的剥离往往是非常困难的。一般都是用柔性材料，把金属膜沾上去，从一边揭开，让金属膜和SiC衬底缓慢剥离。然后再把金属膜从柔性衬底转移至你的模具表面。这里面有几个关键 1. 金属膜和柔性材料的粘贴，要无气泡，均匀。有条件上真空贴膜机，没条件用辊子来实现。 2. 柔性材料的缓慢揭开，这是手艺活，柔性材料面积要远大于SiC衬底。可以用气体不断吹扫揭开的缝隙，这样可以减少对金属膜的伤害。 3. 柔性材料和金属膜分离。这取决于柔性材料的性质。这个柔性材料可以是压敏的紫外脱落薄膜，也可以是热发泡薄膜。前者用紫外光照就可以脱落，后者加热即可脱落。你可以咨询一下苏州锐材半导体找这些材料。这样可以保证你的金属膜可以无损的脱离。 4. 模具的涂敷。在模具表面涂敷足够均匀的胶，要看模具的形状似什么样的。可以用旋转匀胶，可以用喷涂，可以用辊子，都可以。 5. 金属膜的贴附。因为存在胶的不均匀，所以应当在真空下，用非常光滑的表面去压金属膜，使得金属膜下的胶尽量的平整。这个我们叫热压键合。可以参考苏州美图半导体的键合设备。 还有方法是把溅射好的SiC和模具通过热压键合直接键合在一起。然后把SiC充分减薄至um水平，然后用激光将SiC和金属膜分离。 事实上，上面这个方法更适合硅材料，因为硅片同样具有很好的表面，roughness也可以做到非常低，这样在减薄之后，就可以直接用腐蚀的方法把Si去掉，良率更高，成本更低。 |
2楼2014-09-22 16:17:01
yinhuoxuan
铁虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 9057.9
- 帖子: 885
- 在线: 202.8小时
- 虫号: 2483545
- 注册: 2013-05-27
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的微观结构
4楼2016-01-17 21:32:49
