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用什么方法把纳米金属薄膜从PI基体上脱离
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banjieniuzai
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用什么方法把纳米金属薄膜从PI基体上脱离
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用什么方法把纳米金属薄膜从PI基体上脱离
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2014-09-13 15:56:47
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lee0803
木虫
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
你这个纳米金属薄膜是怎样做到PI上面去的?溅射?蒸发?结合力是怎样的?
脱离后需要怎样使用?
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2楼
2014-09-17 11:42:59
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
用PI蚀刻液把PI腐蚀掉,不过怎么把金膜取出来啊?
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3楼
2014-09-17 11:56:48
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虫号: 1916175
注册: 2012-07-30
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
【答案】应助回帖
PI可以用O2 plasma刻蚀掉;
另外PI和金属粘合很差,兴许可以用胶带纸粘下来。。。
(PI是指polyimide吧)
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4楼
2014-09-17 14:03:42
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