| 查看: 583 | 回复: 2 | ||
[求助]
金属硅化物纳米薄膜退火气氛（混氢）问题
|
|
1、非晶FeSi2薄膜快速退火（卤素钨灯加热），保护气氛选择混5%氢气的高纯氮气还是混5%氢气的高纯氩气？两者区别大么？ 2、混氢气体直接排放到室外还是需要一些收集装置？其他需要采取什么安全措施，或者注意事项？ 谢谢大家了！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有106人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火
已经有6人回复
- 构成欧姆接触的一个问题
已经有6人回复
- 求助：为什么我的半导体Si的电流密度很低
已经有3人回复
2楼2014-09-22 10:42:42
|
谢！ |
3楼2014-09-22 15:28:27
