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金属硅化物纳米薄膜退火气氛（混氢）问题
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1、非晶FeSi2薄膜快速退火（卤素钨灯加热），保护气氛选择混5%氢气的高纯氮气还是混5%氢气的高纯氩气？两者区别大么？ 2、混氢气体直接排放到室外还是需要一些收集装置？其他需要采取什么安全措施，或者注意事项？ 谢谢大家了！ |
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