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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 金属硅化物纳米薄膜退火气氛（混氢）问题
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zp6915569

新虫 (初入文坛)

[求助] 金属硅化物纳米薄膜退火气氛（混氢）问题

1、非晶FeSi2薄膜快速退火（卤素钨灯加热），保护气氛选择混5%氢气的高纯氮气还是混5%氢气的高纯氩气？两者区别大么？
2、混氢气体直接排放到室外还是需要一些收集装置？其他需要采取什么安全措施，或者注意事项？
谢谢大家了！
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1楼 2014-09-19 18:06:13
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幸运倒霉

新虫 (初入文坛)
没有问题，两者区别不大，氮气高温可能会跟硅反应，至于第二个问题，直接排到室外就可以，没有关系
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2楼2014-09-22 10:42:42
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zp6915569

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 幸运倒霉 at 2014-09-22 10:42:42
没有问题，两者区别不大，氮气高温可能会跟硅反应，至于第二个问题，直接排到室外就可以，没有关系

谢！
3楼2014-09-22 15:28:27
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