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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？ 已有3人参与

如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？

如图所示.

1.这根导线由两种材料（镍铬—铜镍）金属连接而成。
2.导线宽度大约在30微米宽。
这样的一个玩意儿该如何做呢？

————————————————————————————
我的思路：
  第一步：在二氧化硅上涂一层光刻胶
  第二步：用掩膜板对光刻胶进行曝光，在光刻胶上出现一条凹槽
  第三步：然后溅射铜镍，这样铜镍金属就进入凹槽中了。
  第四步：洗掉光刻胶，那么半个导线就做出来了。
  第五步：同样的步骤，在刻好第一个金属线的表面整体再涂一层光刻胶，然后如上步骤.....

  这样可行吗？
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@lee0803 @静静一yi

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1楼 2014-09-04 14:37:01
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-08 12:35:25
这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了，我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情，上下都不需要太对准，对歪一点也没有影响，就是左右，你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了，真的非常简单 ...

那要看金属有多厚，像楼主开始的思路是lift off，那就lift off好了。如果不用双层胶，金属又厚的话，很难剥掉。
如果不用双层胶，就需要多几片金属片，保证在溅射金属的过程中，始终有胶被金属片保护。这样剥离的时候就保证了又窗口存在。
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11楼2014-09-12 11:51:25
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
就看要求高不高，如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触，不好说。
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2楼2014-09-04 17:16:15
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2014-09-04 17:16:15
就看要求高不高，如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触，不好说。

我也担心这个，有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞？然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么？
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3楼2014-09-05 10:38:21
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-09-07 20:55:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-04 19:38:21
我也担心这个，有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞？然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么？...

那你再做一个掩膜板好了，最后再打个洞。
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哈哈哈哈，来吧
4楼2014-09-05 14:26:37
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