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mingyan122

新虫 (小有名气)

[交流] 求助:射频溅射的AZO总是不导电,方阻及其大,请求大家有没有人知道这是为什么? 已有4人参与

射频溅射的AZO总是不导电,方阻及其大,请求大家有没有人知道这是为什么?注:腔体和搜的屏蔽罩,挡板都已经擦拭过了
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mingyan122

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-04 10:56:43
这极有可能是靶材的问题。靶材中铝原子和锌原子相互间混合严重不均,造成了无掺杂效应的结果,也就方阻极其大和不导电了。

谢谢回复,但是我测得靶材的电阻很小,电阻很小能排除靶材的干扰吗?
5楼2014-09-04 16:58:01
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这极有可能是靶材的问题。靶材中铝原子和锌原子相互间混合严重不均,造成了无掺杂效应的结果,也就方阻极其大和不导电了。
2楼2014-09-04 10:56:43
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abollo

铁杆木虫 (正式写手)

Phd


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
厚度太薄,Al被氧化没有形成掺杂
justforfun
3楼2014-09-04 16:04:21
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mingyan122

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by abollo at 2014-09-04 16:04:21
厚度太薄,Al被氧化没有形成掺杂

厚度我做到了330nm,还是薄吗?我也做过600nm的也测不出来方阻
4楼2014-09-04 16:56:26
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