24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1128  |  回复: 8

mingyan122

新虫 (小有名气)

[交流] 求助:射频溅射的AZO总是不导电,方阻及其大,请求大家有没有人知道这是为什么? 已有4人参与

射频溅射的AZO总是不导电,方阻及其大,请求大家有没有人知道这是为什么?注:腔体和搜的屏蔽罩,挡板都已经擦拭过了
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这极有可能是靶材的问题。靶材中铝原子和锌原子相互间混合严重不均,造成了无掺杂效应的结果,也就方阻极其大和不导电了。
2楼2014-09-04 10:56:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

abollo

铁杆木虫 (正式写手)

Phd


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
厚度太薄,Al被氧化没有形成掺杂
justforfun
3楼2014-09-04 16:04:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mingyan122

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by abollo at 2014-09-04 16:04:21
厚度太薄,Al被氧化没有形成掺杂

厚度我做到了330nm,还是薄吗?我也做过600nm的也测不出来方阻
4楼2014-09-04 16:56:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mingyan122

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-04 10:56:43
这极有可能是靶材的问题。靶材中铝原子和锌原子相互间混合严重不均,造成了无掺杂效应的结果,也就方阻极其大和不导电了。

谢谢回复,但是我测得靶材的电阻很小,电阻很小能排除靶材的干扰吗?
5楼2014-09-04 16:58:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by mingyan122 at 2014-09-04 16:58:01
谢谢回复,但是我测得靶材的电阻很小,电阻很小能排除靶材的干扰吗?...

先看一下镀膜截面的高倍的扫描电镜再说吧。
6楼2014-09-04 17:43:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

abollo

铁杆木虫 (正式写手)

Phd


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我看你做高阻ZnO得了,现在Al掺杂ZnO随便都能1K欧姆以下的,你可以反着来做
justforfun
7楼2014-09-04 21:22:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gezi_shan

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我也是碰到这个问题     不知道你有没有解决 ?
8楼2014-09-22 14:38:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

狼牙峰峰拳

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我做的AZO一般只有20多欧啊。。你确定你的靶材和工艺没问题?
9楼2014-09-23 20:57:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mingyan122 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 复试调剂,一志愿南农083200食品科学与工程 +4 XQTJZ 2026-03-26 4/200 2026-03-27 01:23 by dgnhs
[考研] 351求调剂 +4 麦克阿磊 2026-03-24 4/200 2026-03-27 00:32 by wxiongid
[考研] 281求调剂 +3 亚克西good 2026-03-26 5/250 2026-03-26 19:48 by 不吃魚的貓
[考研] 340求调剂 +3 Amber00 2026-03-26 3/150 2026-03-26 18:57 by 不吃魚的貓
[考研] 22 350 本科985求调剂,求老登收留 +4 李轶男003 2026-03-20 4/200 2026-03-26 16:05 by 哇啦啦啦xtj
[考研] 一志愿上海交大生物与医药专硕324分,求调剂 +6 jiajunX 2026-03-22 6/300 2026-03-25 23:05 by licg0208
[考研] 一志愿哈工大,085400,320,求调剂 +4 gdlf9999 2026-03-24 4/200 2026-03-25 23:01 by boxking200
[考研] 308求调剂 +5 墨墨漠 2026-03-25 5/250 2026-03-25 22:19 by 544594351
[考研] 0854人工智能方向招收调剂 +4 章小鱼567 2026-03-24 4/200 2026-03-25 13:29 by 2177681040
[考研] 340求调剂 +5 话梅糖111 2026-03-24 5/250 2026-03-25 06:53 by ilovexiaobin
[考研] 材料专硕331求调剂 +4 鲜当牛 2026-03-24 4/200 2026-03-24 15:58 by JourneyLucky
[考博] 26申博自荐 +3 whh869393 2026-03-24 3/150 2026-03-24 09:55 by 21018060
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境,总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-23 8/400 2026-03-23 20:36 by Creta
[考研] 333求调剂 +3 ALULU4408 2026-03-23 3/150 2026-03-23 19:04 by macy2011
[考研] 328求调剂 +4 LHHL66 2026-03-23 4/200 2026-03-23 14:55 by lbsjt
[考研] 276求调剂 +3 YNRYG 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:31 by 醉在风里
[考研] 一志愿东华大学化学070300,求调剂 +7 2117205181 2026-03-21 8/400 2026-03-22 22:55 by chixmc
[考研] 材料与化工085600,总分304,本科有两篇sci参与,求调剂 +4 幸运的酱酱 2026-03-22 5/250 2026-03-22 20:15 by edmund7
[考研] 材料求调剂 +5 @taotao 2026-03-21 5/250 2026-03-21 20:55 by lbsjt
[考研] 求调剂 +4 要好好无聊 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:57 by 学员8dgXkO
信息提示
请填处理意见