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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 求助：射频溅射的AZO总是不导电，方阻及其大，请求大家有没有人知道这是为什么？
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mingyan122

新虫 (小有名气)

[交流] 求助：射频溅射的AZO总是不导电，方阻及其大，请求大家有没有人知道这是为什么？ 已有4人参与

射频溅射的AZO总是不导电，方阻及其大，请求大家有没有人知道这是为什么？注：腔体和搜的屏蔽罩，挡板都已经擦拭过了
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1楼 2014-09-04 10:14:42
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这极有可能是靶材的问题。靶材中铝原子和锌原子相互间混合严重不均，造成了无掺杂效应的结果，也就方阻极其大和不导电了。
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2楼2014-09-04 10:56:43
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abollo

铁杆木虫 (正式写手)

Phd
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
厚度太薄，Al被氧化没有形成掺杂
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justforfun
3楼2014-09-04 16:04:21
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mingyan122

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by abollo at 2014-09-04 16:04:21
厚度太薄，Al被氧化没有形成掺杂

厚度我做到了330nm，还是薄吗？我也做过600nm的也测不出来方阻
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4楼2014-09-04 16:56:26
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mingyan122

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-04 10:56:43
这极有可能是靶材的问题。靶材中铝原子和锌原子相互间混合严重不均，造成了无掺杂效应的结果，也就方阻极其大和不导电了。

谢谢回复，但是我测得靶材的电阻很小，电阻很小能排除靶材的干扰吗？
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5楼2014-09-04 16:58:01
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by mingyan122 at 2014-09-04 16:58:01
谢谢回复，但是我测得靶材的电阻很小，电阻很小能排除靶材的干扰吗？...

先看一下镀膜截面的高倍的扫描电镜再说吧。
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6楼2014-09-04 17:43:55
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abollo

铁杆木虫 (正式写手)

Phd
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我看你做高阻ZnO得了，现在Al掺杂ZnO随便都能1K欧姆以下的，你可以反着来做
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justforfun
7楼2014-09-04 21:22:14
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gezi_shan

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也是碰到这个问题     不知道你有没有解决 ？
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8楼2014-09-22 14:38:37
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狼牙峰峰拳

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我做的AZO一般只有20多欧啊。。你确定你的靶材和工艺没问题？
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9楼2014-09-23 20:57:28
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