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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家,比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器,可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗??误差大概是多少?
还有纵向是什么原理?是通过前后表面光的干涉吗??

请大家不吝赐号
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
12楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 23:02:56
3d扫描共聚焦不是和ct一样分成很多层的吗?纵向会不会就是用压电陶瓷控制的?
...

共聚焦根本达不到几个nm的分辨率,光学决定的,所以也不可能也没必要装压电马达,而且这东西测试成本,方便程度都比椭偏,甚至电镜还差,为啥非要用这个呢,术业有专攻的
16楼2014-08-28 23:24:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好,轻松可以测到
5楼2014-08-27 21:16:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
6楼2014-08-28 18:33:59
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