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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 紫外激光加工
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)

[求助] 紫外激光加工 已有4人参与

各位虫友，
       本人想在环氧树脂的表面刻一些微米级（1-10微米左右）的通道，找来找去觉得紫外激光加工应该是比较靠谱的。
目前看到武汉光电实验室和华科的激光加工实验室的紫外微加工设备比较靠谱。
      求了解这方面的大神给支支招，不胜感激！
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helloworld
1楼 2014-08-27 11:46:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
紫外微加工设备的光斑都大于你要的尺寸，所以很难实现。
如果你的环氧树脂是平整的薄膜表面，还是用光刻+刻蚀的方式来实现比较容易。
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2楼2014-08-27 17:31:36
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-08-27 17:31:36
紫外微加工设备的光斑都大于你要的尺寸，所以很难实现。
如果你的环氧树脂是平整的薄膜表面，还是用光刻+刻蚀的方式来实现比较容易。

非常感谢，如果是比较厚的环氧树脂，比如几个mm，保证某一面平整可以么？
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helloworld
3楼2014-08-28 08:43:31
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-08-27 17:31:36
紫外微加工设备的光斑都大于你要的尺寸，所以很难实现。
如果你的环氧树脂是平整的薄膜表面，还是用光刻+刻蚀的方式来实现比较容易。

另外，还想问一下紫外微加工设备可以切开1-2mm厚的环氧树脂材料么？
对这一块完全不了解，所以问题比较多，非常感谢
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helloworld
4楼2014-08-28 08:46:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by carson-THU at 2014-08-28 08:43:31
非常感谢，如果是比较厚的环氧树脂，比如几个mm，保证某一面平整可以么？...

是可以的，具体要看图纸。
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5楼2014-08-28 14:24:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by carson-THU at 2014-08-28 08:46:41
另外，还想问一下紫外微加工设备可以切开1-2mm厚的环氧树脂材料么？
对这一块完全不了解，所以问题比较多，非常感谢...

激光切树脂材料不难，几个毫米都不难，关键是切缝会很大。
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6楼2014-08-28 14:25:02
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刻蚀肯定需要表面很平整，但是也可以在环氧树脂彻底固化前，用压印的手段实现。
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7楼2014-08-28 14:51:18
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by carson-THU at 2014-08-28 08:46:41
另外，还想问一下紫外微加工设备可以切开1-2mm厚的环氧树脂材料么？
对这一块完全不了解，所以问题比较多，非常感谢...

完全可以，但是线宽肯定不至于10um
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8楼2014-08-28 18:04:26
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carson-THU

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-28 18:04:26
完全可以，但是线宽肯定不至于10um...

那请问线宽最小多少呢？另外能否有办法比较精确的控制切割的位置？谢谢
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helloworld
9楼2014-08-29 10:53:12
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by carson-THU at 2014-08-29 10:53:12
那请问线宽最小多少呢？另外能否有办法比较精确的控制切割的位置？谢谢...

具体能够做到多少 我不清楚，我不是做这个的！我只是去加工过，所以略懂一二；别说加工毫米级深度不能达到10um就算是只加工几微米深度 线宽都不一定能控制到10um的；精确控制的话，如果设备上带高精度定位仪或者 提前做好地位标记的话，配合有经验的师傅 应该没问题，但是也要看你的精确是指的哪种程度
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10楼2014-08-29 12:48:30
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