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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离
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简单的莲儿

金虫 (小有名气)

[求助] 场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离 已有3人参与

请问场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离会对拍摄出来的图片产生什么影响？
为什么，不锈钢熔覆的ZrO2陶瓷层在WD=5.1时能看的看的清楚组织，但是在WD=7.7时看不到，更不理解的是在WD=7.7时,面扫和线扫扫出来的Zr含量极少。请问有朋友碰到过这种情况么，请帮忙回答下，万分感谢。

场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离
1.jpg
场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离-1
2.jpg
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Timeworkswonders!Q525908109
1楼 2014-08-26 17:46:17
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temexplorer

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
简单的莲儿: 金币+5 2014-08-28 08:04:23
(1)一般工作距离小一点则SEM的分辨率会高一点，所以WD=5.1的时候比WD=7.7的时候看到ZrO2的可能大;
(2)EDS的时候要注意调节电压、工作距离、束流，这样才能得到合适的计数率，一般每台SEM在做EDS的时候都有一个最佳的取值范围，尤其是WD，如果为了追求高的分辨率随便降低WD，一般EDS的时候计数率会很低。
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2楼2014-08-27 11:40:52
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
简单的莲儿: 金币+10 2014-08-28 08:40:43
你这个是一个样品么。。不是同时拍的啊，WD减少是会提高分辨率，但绝对没有差这么多的，100k倍数以上一般才能看到区别，感觉是样品问题，位置或者什么的，eds可以提高束流大小试试，至少要拿到足够分析的信号总量才行，另外eds对定量也不怎么好用的，最好用波谱仪
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3楼2014-08-27 13:37:53
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dilong399

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
简单的莲儿: 金币+5 2014-08-28 08:40:14
看图片，楼主用的是fei 的nova Nano SEM系列场发射扫描电镜，其设定的work distance=5.0mm，所以5.0mm时焦距调整最清晰，其他时候焦距没有调好，自然看不到。
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4楼2014-08-27 14:16:22
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简单的莲儿

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by temexplorer at 2014-08-27 11:40:52
(1)一般工作距离小一点则SEM的分辨率会高一点，所以WD=5.1的时候比WD=7.7的时候看到ZrO2的可能大;
(2)EDS的时候要注意调节电压、工作距离、束流，这样才能得到合适的计数率，一般每台SEM在做EDS的时候都有一个最佳 ...

谢谢了
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Timeworkswonders!Q525908109
5楼2014-08-28 08:05:34
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简单的莲儿

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-27 13:37:53
你这个是一个样品么。。不是同时拍的啊，WD减少是会提高分辨率，但绝对没有差这么多的，100k倍数以上一般才能看到区别，感觉是样品问题，位置或者什么的，eds可以提高束流大小试试，至少要拿到足够分析的信号总量才 ...

不是同一个样品，不过两次使用的样品都是从同一样品中切割出来的。第一次拍摄时候分析时缺乏数据，后来补拍，就再也看不到之前图像，打能谱也检测不到Zr.在两次拍照的不同点有，场发射的灯丝换过，工作距离变大，请问若是样品问题会是腐蚀的问题么
场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离-2
第一次拍摄Zr.jpg


场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离-3
第一次拍摄.jpg


场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离-4
2.jpg


场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离-5
第二次拍摄.jpg
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Timeworkswonders!Q525908109
6楼2014-08-28 08:36:58
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简单的莲儿

金虫 (小有名气)
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Timeworkswonders!Q525908109
7楼2014-08-28 08:40:07
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 简单的莲儿 at 2014-08-28 08:36:58
不是同一个样品，不过两次使用的样品都是从同一样品中切割出来的。第一次拍摄时候分析时缺乏数据，后来补拍，就再也看不到之前图像，打能谱也检测不到Zr.在两次拍照的不同点有，场发射的灯丝换过，工作距离变大，请 ...

感觉不太像啊，我觉得是样品位置或者啥的问题，有可能是腐蚀不均匀一类的，楼上那个感觉不对，如果设定WD在5mm实际在7.7的话，不可能得到这么清晰的像的，这个显然不是对焦非常差的图像，个人觉得不是电镜问题，换电子枪，WD变2mm，都不会导致这么大的形态变化的
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8楼2014-08-28 09:48:36
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