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简单的莲儿

金虫 (小有名气)

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[求助] 场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离已有3人参与

请问场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜的工作距离会对拍摄出来的图片产生什么影响？
为什么，不锈钢熔覆的ZrO2陶瓷层在WD=5.1时能看的看的清楚组织，但是在WD=7.7时看不到，更不理解的是在WD=7.7时,面扫和线扫扫出来的Zr含量极少。请问有朋友碰到过这种情况么，请帮忙回答下，万分感谢。

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Timeworkswonders!Q525908109

1楼 2014-08-26 17:46:17

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简单的莲儿

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by temexplorer at 2014-08-27 11:40:52
(1)一般工作距离小一点则SEM的分辨率会高一点，所以WD=5.1的时候比WD=7.7的时候看到ZrO2的可能大;
(2)EDS的时候要注意调节电压、工作距离、束流，这样才能得到合适的计数率，一般每台SEM在做EDS的时候都有一个最佳 ...

谢谢了

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Timeworkswonders!Q525908109

5楼2014-08-28 08:05:34

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temexplorer

新虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
简单的莲儿: 金币+5 2014-08-28 08:04:23

(1)一般工作距离小一点则SEM的分辨率会高一点，所以WD=5.1的时候比WD=7.7的时候看到ZrO2的可能大;
(2)EDS的时候要注意调节电压、工作距离、束流，这样才能得到合适的计数率，一般每台SEM在做EDS的时候都有一个最佳的取值范围，尤其是WD，如果为了追求高的分辨率随便降低WD，一般EDS的时候计数率会很低。