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674161937

木虫 (正式写手)

[求助] 镀膜两个小问题? 已有2人参与

今天镀膜的时候突然想到两个问题请教下大家。
1.为什么溅射比蒸发可以获得更好的深宽比?
2.镀膜过程中分子泵一直在工作,会给原子沉积过程带来扰动吗?这样的话就不能保证镀膜厚度的均匀性了啊?
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)

感觉楼主说的第二个问题  似乎是想说分子泵带来的震动问题
呜呼.....
4楼2014-08-16 20:03:35
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查看全部 5 个回答

cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1.溅射是在一定气压范围内实现,而蒸发是汽化过程,推动膜的形成没有溅射的有力。
2.没有影响。
2楼2014-08-15 21:54:22
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1、溅射过程中原子的能量比蒸发过程中的高得多;2、分子泵一直在工作,气流的流动稳定,影响较小;若气泵断续工作就难说了。
3楼2014-08-15 22:03:52
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674161937

木虫 (正式写手)

工作一年啦,来看这个问题真是too young

发自小木虫IOS客户端
5楼2016-07-14 23:46:03
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