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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 镀膜两个小问题？
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674161937

木虫 (正式写手)

[求助] 镀膜两个小问题？ 已有2人参与

今天镀膜的时候突然想到两个问题请教下大家。
1.为什么溅射比蒸发可以获得更好的深宽比？
2.镀膜过程中分子泵一直在工作，会给原子沉积过程带来扰动吗？这样的话就不能保证镀膜厚度的均匀性了啊？
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1楼 2014-08-15 19:51:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1、溅射过程中原子的能量比蒸发过程中的高得多；2、分子泵一直在工作，气流的流动稳定，影响较小；若气泵断续工作就难说了。
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3楼2014-08-15 22:03:52
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