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674161937

木虫 (正式写手)

[求助] 镀膜两个小问题? 已有2人参与

今天镀膜的时候突然想到两个问题请教下大家。
1.为什么溅射比蒸发可以获得更好的深宽比?
2.镀膜过程中分子泵一直在工作,会给原子沉积过程带来扰动吗?这样的话就不能保证镀膜厚度的均匀性了啊?
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dgz5530739

捐助贵宾 (著名写手)

感觉楼主说的第二个问题  似乎是想说分子泵带来的震动问题
呜呼.....
4楼2014-08-16 20:03:35
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