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匿名

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duola1024

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
低调胡萝卜: 金币+30, ★★★★★最佳答案, 很牛的答复~ 2014-03-05 16:31:39
求助关于真空镀膜机的原理问题
个人理解,欢迎批评指正
为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
2楼2014-03-05 11:53:39
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duola1024

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
leongoall: 金币+5, 追加奖励!多谢应助! 2014-03-05 17:21:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by 低调胡萝卜 at 2014-03-05 16:31:14
大神,太感谢了,还有一个小问题,为什么分子泵启动的时候前级阀总是开着,将其与正在工作的机械泵连接呢?是分子泵的运行需要机械泵一直抽气么?...

是的,分子泵工作时必须有前级的机械泵连接,保证分子泵的出口至少也是低真空。
可以考虑更复杂的情况,比如两个腔共用一个机械泵,一个腔在用分子泵加机械泵抽高真空,另一个腔是大气,如果要给这个腔用机械泵旁抽低真空,这个时候一定不能直接开旁抽阀,否则机械泵进气口也就是分子泵出气口会暴漏在大气下,大量气体进入分子泵会损坏分子泵。必须先关掉正在运转的分子泵的前级阀,再开旁抽。
写的可能不太容易看懂,自己画个图吧。
总之,开关阀门前想想分子泵会不会暴漏在大气中,进气口出气口都算,只要没违反这个原则,就不会损坏分子泵。
为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
4楼2014-03-05 16:51:08
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duola1024

木虫 (小有名气)

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低调胡萝卜: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 十分优秀的答复! 2014-03-05 20:13:21
忘了说关的时候的次序
先关闸板阀,再关分子泵,分子泵停转大概需要几分钟(好的可能要几十分钟),等分子泵停转了再关前级阀,关机械泵
为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
5楼2014-03-05 16:57:49
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匿名

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6楼2014-03-05 20:13:26
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duola1024

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 低调胡萝卜 at 2014-03-05 20:13:26
多谢热心解答了,那要是已经关掉了插板阀,分子泵还在运行中,这个时候要是关掉前级阀,会不会有什么危险呢?...

不会有什么危险,只要你不是让分子泵一直这么开着...
开着前级阀的时候让分子泵慢慢停下来,我的导师说是为了使分子泵尽快通过共振点,而共振对分子泵的影响也很大。不过我没有看到过相关的资料
危险都是大量气体冲击分子泵叶片导致叶片迅速升温甚至直接打坏,除此之外,分子泵还是挺结实的
为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
7楼2014-03-05 20:31:24
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匿名

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3楼2014-03-05 16:31:14
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匿名

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8楼2014-03-05 21:04:44
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duola1024

木虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 低调胡萝卜 at 2014-03-05 21:04:44
谢谢啦~其实我还想问问,为什么在已经是低真空的条件下,预抽阀和前级阀还是不能同时打开呢?麻烦了~...

可以打开,没什么大影响,只不过影响抽速会慢点而已
为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
9楼2014-03-06 00:12:46
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毛福祥

银虫 (正式写手)


好的设备有保护措施的,如果前级腔室真空不好,或者误操作,分子泵会自动关停的,好像是这样。。。
10楼2014-07-13 09:57:46
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