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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 求助关于真空镀膜机的原理问题
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匿名

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1楼 2014-03-05 09:16:29
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毛福祥

银虫 (正式写手)
好的设备有保护措施的，如果前级腔室真空不好，或者误操作，分子泵会自动关停的，好像是这样。。。
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10楼2014-07-13 09:57:46
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duola1024

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
低调胡萝卜: 金币+30, ★★★★★最佳答案, 很牛的答复~ 2014-03-05 16:31:39
求助关于真空镀膜机的原理问题
个人理解，欢迎批评指正
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为什么会有测不准原理？难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率？
2楼2014-03-05 11:53:39
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匿名

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3楼2014-03-05 16:31:14
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duola1024

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
leongoall: 金币+5, 追加奖励！多谢应助！ 2014-03-05 17:21:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by 低调胡萝卜 at 2014-03-05 16:31:14
大神，太感谢了，还有一个小问题，为什么分子泵启动的时候前级阀总是开着，将其与正在工作的机械泵连接呢？是分子泵的运行需要机械泵一直抽气么？...

是的，分子泵工作时必须有前级的机械泵连接，保证分子泵的出口至少也是低真空。
可以考虑更复杂的情况，比如两个腔共用一个机械泵，一个腔在用分子泵加机械泵抽高真空，另一个腔是大气，如果要给这个腔用机械泵旁抽低真空，这个时候一定不能直接开旁抽阀，否则机械泵进气口也就是分子泵出气口会暴漏在大气下，大量气体进入分子泵会损坏分子泵。必须先关掉正在运转的分子泵的前级阀，再开旁抽。
写的可能不太容易看懂，自己画个图吧。
总之，开关阀门前想想分子泵会不会暴漏在大气中，进气口出气口都算，只要没违反这个原则，就不会损坏分子泵。
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为什么会有测不准原理？难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率？
4楼2014-03-05 16:51:08
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