| 查看: 218 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
请教:有做高介电常数膜的吗？
|
|||
|
我用PECVD做Ta2O5，源气体是乙醇钽和O2，工作气体是Ar，乙醇钽加热成蒸气与Ar一起进入真空室，基底温度400左右，在基片上沉积Ta2O5，可是沉积不成功，请教一下大虾！ [ Last edited by SHY31 on 2008-4-12 at 08:46 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
286求调剂
已经有25人回复
-
22专硕求调剂
已经有8人回复
-
材料工程281还有调剂机会吗
已经有19人回复
-
药学305求调剂
已经有7人回复
-
290求调剂
已经有13人回复
-
085410 273求调剂
已经有8人回复
-
0831一轮调剂失败求助
已经有3人回复
-
271求调剂
已经有22人回复
-
求调剂，985材料与化工348分
已经有9人回复
-
344 材料专业 求调剂211 无地域要求
已经有5人回复
盒子
金虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2427.8
- 散金: 1800
- 红花: 17
- 帖子: 1292
- 在线: 471.2小时
- 虫号: 369869
- 注册: 2007-05-13
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2008-04-12 08:33:43
盒子
金虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2427.8
- 散金: 1800
- 红花: 17
- 帖子: 1292
- 在线: 471.2小时
- 虫号: 369869
- 注册: 2007-05-13
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2008-04-12 08:33:24
