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lbxcsu

新虫 (初入文坛)

[交流] 请教:有做高介电常数膜的吗?

我用PECVD做Ta2O5,源气体是乙醇钽和O2,工作气体是Ar,乙醇钽加热成蒸气与Ar一起进入真空室,基底温度400左右,在基片上沉积Ta2O5,可是沉积不成功,请教一下大虾!

[ Last edited by SHY31 on 2008-4-12 at 08:46 ]
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盒子

金虫 (著名写手)

我也做这个
可惜不是用CVD方法
差之毫厘,谬以千里。
2楼2008-04-12 08:33:24
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盒子

金虫 (著名写手)

我也做这个
可惜不是用CVD方法
差之毫厘,谬以千里。
3楼2008-04-12 08:33:43
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